| 제목 | 일체형으로 제작된 유연 압전 음성센서 |
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출원 번호 1020200080524
발명의명칭: 일체형으로 제작된 유연 압전 음성센서(Flexible piezoelectric acoustic sensor fabricated integrally with Si as the supporting substrate)
Int. CI: G01H 11/08 (2006.01.01)
출원번호(일자): 1020200080524 (2020.06.30)
초록
압전 물질층을 포함하는 음성센서로서, 상기 음성센서는 기판; 지지층; 금속층; 상기 금속층 상의 압전물질층 및 상기 압전물질층 상의 전극을 포함하며, 상기 기판은 상기 압전물질층, 전극 및 폴리머층을 포함하는 박막의 일부를 노출하는 방식으로 상기 음성센서의 소자층을 일체형으로 지지하는 것을 특징으로 하는 압전 물질층을 포함하는 음성센서가 제공된다.
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